Krav på elektronisk gasföroreningar blir allt strängare

With the upgrading of electronic consumer products, the size of products is getting bigger and bigger, and the product yield and defect control are becoming more and more stringent. The entire electronic industry has more and more stringent requirements for the purity of electronic gas sources and the elimination of secondary pollution in the delivery system. Basically, the technical indicators proposed by the industry for electronic gas gas phase impurities and particle size pollution are directly related to the minimum detection limit (LDL) brought about by the advancement of analytical instrument technology. For example, traditional laser particle testers can measure 0.1 microns, while nuclear condensation technology (CNC) can reach 0.01 microns. At present, the line width of 12-inch Ultra-stor-skala integrerad kretstillverkning har utvecklats till 45 nanometrar . renheten av bulkgaser krävs för att vara på PPT-nivån, och partikelstorlekskontrollen pekar direkt på den nedre gränsen för CNC-analysinstrument . de tekniska indikatorerna för laboratoriets ultralättande lätta lätta lätta lampor (LEDS) har mer än 200. (lumen/watt) och renhetskontrollkraven för väte och ammoniak är också mindre än 1ppb (delar per miljard). Ammoniak produceras genom flerstegsdestillation, och de tekniska indikatorerna når 7n (7 9 s) "vit ammoniak" . 5 n väte måste renas till 9N med användning av en avancerad palladiummembranrenare.
Den snabba tillämpningen av Bulk Special Gass Systems (BSGS) bidrar till att förbättra föroreningskontrollen . Först och främst, stora förpackningsbehållare säkerställer kontinuiteten i gaskvaliteten och minskar risken för föroreningar från flera fyllningar .. Dessutom minskar de stora ändringarna. Purge Effect .